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“星纳特直线电机 线性马达永磁直驱电机 模组平台晶圆切割专用”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 用途： | 工业用 |
| 运转速度： | 高速 | 结构形式： | 旋转电枢式(磁极固定) |
| 运行方式： | 调相机 | 极数： | 三相 |
| 通风方式： | 封闭式 | 磁路结构： | 永磁式 |
| 原动机类别： | 磁悬浮 | 型号： | Kt |
| 规格： | Kt | 商标： | Kt |
| 包装： | 木架 |
“星纳特直线电机 线性马达永磁直驱电机 模组平台晶圆切割专用”详细介绍
肯呐特空芯直线电机XY-Theta平台：该产品已经申请国家专利平台具有以下特点：1）X方向采用两个特殊设计的U型直线电机驱动，这两个直线电机经过特殊技术设计，可以直接串联（或者并联）在一起同时工作，这样X方向虽然采用龙门结构，却无需对龙门进行解耦，就可以直接对两台电机好像驱动一套直线电机那样直接驱动和控制。采用这样的设计方式，可以极大的提高X方向的动态特性和驱动能力，也可以尽可能的减低X方向的实现高度2）Y方向是经过特殊设计的decouple结构的U型直线电机，这是一种具有特殊设计的直线电机，电机动子随着X方向运动的时候不会有任何电磁力产生，需要Y方向运动的时候，电机可以单独工作，这种设计方法可以把Y方向电机的磁铁单独外置，这样无需随着X方向运动，极大的减低了平台的运动质量，提高平台的驱动能力，动态响应，和系统稳定性，更重要的是这样实际同时可以有效的减低Y方向的结构高度3）Theta方向我们一般采用一些比较特殊设计的DDR电机，这些DDR电机的重量都经过优化设计，高度也进行过进一步的减低4）我们的解决方案非常适合需要特别高的动态响应和运动稳定性的场合，能提供超大加速度和运动精度，更重要的是我们的解决方案具有很好的性价比，在同性能平台设计方案中经济性优势非常明显主要技术指标如下表：项目XYTheta平台运动质(惯)量（不含负载）7Kg4Kg1764Kg-mm2最大驱动力（力矩）672N483N14N·m最大速度2m/s2m/s1011RPM行程144mm57.6mm重复精度5μm5μm±5.2arcsec绝对精度10μm10μm±15arcsec分辨率1μm1μm245760CPR动态响应时间10ms10ms10ms
