“美国泽伊塔三维轮廓仪Zeta-20”参数说明
是否有现货: | 否 | 加工定制: | 否 |
品牌: | 美国泽伊塔 | 尺寸: | 36 x 48 x 61 cm |
重量: | 29.5 kg | 型号: | Zeta-20 |
规格: | 36 x 48 x 61 cm | 商标: | 美国泽伊塔 |
包装: | 硬装 | 电源: | 100 – 230 VAC, 2 A |
“美国泽伊塔三维轮廓仪Zeta-20”详细介绍
Zeta三维光学轮廓仪Zeta-20卓越的三维成像和测量基于ZDot™专利技术,Zeta-20可以对近乎所有材料和结构进行成像分析,从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。Zeta-20使用模块化设计理念,为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求,所有硬件安装和操作都简单易用。多功能光学测试模组Zeta-20提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求ZDotTM Z点阵专利三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术,Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量最“困难”的表面。ZIC 干涉反衬成像技术,实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。ZSI 白光差分干涉技术,垂直方向分辨率可达埃级。ZX5 白光干涉技术,大视场下纳米级高度的理想测量技术。ZFT 反射光谱膜厚分析技术,集成宽频反射光谱分析仪,可测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。测量通道和精度
配置要求处理器: Intel Dual Core操作系统: Windows 7, 64位内存: 4GB RAM (16GB 推荐), ≥320 GB HDD显示器: 24-inch LCD, 1920 x 1200 像素振动要求内置防震适用于大多数应用可选被动和主动防震台可选隔音罩技术支持质保: 一年(含人工)软件: 两年内免费升级使用手册: 随货附送维修手册: 可选维修培训校准: 权威机构认证台阶高度和膜厚标样片厂务要求电源: 100 – 230 VAC, 2 A工作温度: 15° – 30° C, 非冷凝真空 (可选): 600 mm Hg设备尺寸(W x D x H): 36 x 48 x 61 cm工作站尺寸: 52 x 66 x 51 cm重量: 29.5 kg
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ZDOT | ZX5 | ZiC | ZSi | ZFT |
粗糙度 > 40nm | √ |
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粗糙度 < 40nm |
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大视场、Z方向高分辨率 |
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15nm - 25mm台阶高度 | √ |
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5nm - 100µm台阶高度 |
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< 10nm台阶高度 |
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缺陷:尺寸 < 1µm,高度 < 75nm |
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缺陷:尺寸 > 1µm,高度 < 75nm |
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30nm < 薄膜厚度 < 15µm |
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薄膜厚度 > 15µm | √ |
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Zeta-20标配系统 | 硬件和软件可选项 |
测_x000B_试_x000B_系_x000B_统 | 超大深度成像 | 标准物镜:2.5×,5×,10×,20×,50×,100×,150× |
标配Z点阵(ZDot) | 特殊物镜:长工作距离,浸没物镜,TTM物镜 | |
双高亮度LED光源 | 白光干涉模组(ZX5):X5物镜,压电陶瓷载台 | |
真彩色CCD相机(1/3"),1024×768像素 | Nomarski模组(ZIC):棱镜,起偏器,检偏器 | |
30帧/秒,数据采集 | 反射光谱膜厚测试模组(ZFT) | |
单耦合镜,四种规格可选 | 白光差分干涉技术(ZSI):0.5Å分辨率,0.1nm台阶高度测试能力 | |
5物镜手动转台 | 高分辨率相机(1/2",1920×1440像素) | |
自动聚焦 | 背光LED | |
最大25mm垂直扫描/次(20×,长工作距离) | 自动物镜识别/6物镜自动转台 | |
40mm垂直工作距离(可扩展至100mm) | 耦合镜:1×,0.63×,0.5×,0.35× | |
载_x000B_台_x000B_和_x000B_卡_x000B_盘 | 手动XY载台(100mm×100mm) | 手动150mm×150mm载台 |
高精度Z轴传动 | 自动100mm×100mm载台 | |
可配置载物台(开放设计) | 压电陶瓷载台(0.2nm步距,100µm传动距离) | |
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倾斜载台(±20 deg) | |
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高精度倾斜载台(±6 deg) | |
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手动旋转载台 | |
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卡盘适用尺寸:2"-8"圆形,5"或6"方形 | |
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硬盘卡盘:65mm-95mm | |
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适于背光卡盘 | |
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可定制特殊卡盘 | |
软_x000B_件 | 非接触测量台阶高度,表面粗糙度,特征尺寸,如直径,面积,体积等 | ZMORF先进的数据分析软件 |
允许同一视场中存在超低反射率(﹤0.5%)和超高反射率(﹥85%)区域 | 最大4"晶圆曲翘度测量 | |
透明/半透明材质测量 | 膜厚测试光谱仪,可见光(适用于膜厚30nm-10µm) | |
透明或半透明多层结构分析 | 自动图像拼接 | |
高粗糙度和高深宽比结构分析 | 自动多点量测 | |
自由调节水平测量 | 先进软件分析包 | |
Ra,Rq,Rz,Rsk,Rk以及其它ISO4287参数 | 离线分析软件 | |
Sa,Sq,Sz,Ssk,Sk以及其它ISO25178参数 | 多种应用Recipe: | |
基于颜色和高度的区域筛选分析 | PSS量测 | |
三维成像软件,可进行滤波,真假色切换,缩放,旋转等 | 金刚线 | |
定制的报告格式 | 金刚石研磨垫 | |
简易文件管理和多格式数据输出 | 太阳能单晶/多晶绒面 | |
时间:30秒内/点 | 太阳能细栅线 | |
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太阳能主栅线 | |
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太阳能电池片曲翘度 |
“美国泽伊塔三维轮廓仪Zeta-20”其他说明
光学系统参数 | |||||||||
标准物镜的光学参数如下。其它可选项:长工作距离物镜,浸没物镜,TTM物镜,0.63X和1X耦合镜。 |
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NA | Working distance (mm) | Z resolution for ZDot (µm) | XY resolution (µm)* | Optical resolution (µm) | FOV with 0.35X coupler | FOV with 0.5X coupler | |||
1/3” camera | 2/3” camera | 1/3” camera | 2/3” camera | ||||||
2.5X | 0.08 | 10.7 | 22 | 3.60 | 4.20 | 5364 × 4024 | 9394 × 7044 | 3788 × 2840 | 6614 × 4960 |
5X | 0.15 | 20.0 | 5.9 | 1.80 | 2.20 | 2682 × 2012 | 4697 × 3522 | 1894 × 1420 | 3307 × 2480 |
10X | 0.30 | 11.0 | 1.5 | 0.90 | 1.10 | 1335 × 1000 | 2327 × 1745 | 944 × 708 | 1644 × 1233 |
20X | 0.45 | 3.1 | 0.5 | 0.45 | 0.75 | 668 × 500 | 1169 × 877 | 468 × 351 | 822 × 616 |
50X | 0.8 | 1.0 | 0.1 | 0.18 | 0.42 | 267 × 200 | 466 × 349 | 189 × 142 | 328 × 246 |
100X | 0.9 | 1.0 | 0.013 | 0.09 | 0.37 | 133 × 100 | 234 × 175 | 93 × 70 | 164 × 123 |
150X | 0.9 | 1.0 | 0.013 | 0.06 | 0.37 | 88 × 66 | 156 × 116 | 62 × 46 | 109 × 82 |